製品解説このページでは Particle-PLUS の機能・特徴・提供形態をまとめています

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Particle-PLUS とは？機能・特徴・提供形態

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Particle-PLUS は、株式会社ウェーブフロントが独自に開発する粒子法プラズマ解析ソフトウェアです。Particle-in-Cell法（PIC法）を用いて非平衡プラズマの数値解析を行います。特に、希薄気体中（低圧下）や壁近傍でのプラズマ現象の解析を得意としており、国内外を問わず多くの企業・大学への導入実績があります。

解析できるプロセスは幅広く、マグネトロンスパッタリング（直流または高周波）、プラズマCVD、プラズマエッチング、イオンプレーティング、電子ビーム、電気泳動などにおけるプラズマの挙動を扱えます。計算できる物理量は、電子分布、イオン分布、電位分布、電流分布、エネルギー分布などです。さらにプラズマ計算だけでなく、磁石配置に対する磁場強度、基板上の成膜レート、固体の温度といった計算機能も備えています。

製品は複数のソフトウェアから構成される単一パッケージとして提供されます。低圧下でのプラズマの挙動を解析する「プラズマモジュール」と、希薄気体のガス流れを計算する「中性ガスモジュール」からなるメインのソルバーに加えて、メッシュ生成用のプリプロセッサ、結果を可視化するポストプロセッサが付属します。

開発のモットーは「シミュレーションをするのが初めての人や慣れていない人でも扱えるソフトウェア」であることです。担当者によるトレーニングや、インストール時に付属する簡単なチュートリアルをこなすことで、短期間で使いこなせるようになるとしています。一方で、より高度な数値計算のテクニックを持つ利用者向けには、オプション機能によって入出力を増やすなどのカスタマイズも可能です。

導入前の相談や受託解析にも対応しており、海外での使用についても問い合わせを受け付けています。マグネトロンプラズマや容量結合プラズマ（CCP）における電子密度分布の時間変化など、各種モデルに対する解析事例が公開されています。

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製品情報

公式サイトの確認日：2026年9月16日

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CAEとは

CAEは、設計した形状に力や熱、流れを与えたときの挙動を、試作する前にコンピュータ上で確かめるための解析ソフトです。構造、熱、流体、振動など対象となる現象ごとに手法が分かれます。比較のときは、解析したい現象への対応、CADデータの取り込みとメッシュ作成、計算に必要な資源と時間、結果の妥当性を判断できる支援、そしてライセンス形態を確認してください。

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