製品解説このページでは DSMC-Neutrals の機能・特徴・提供形態をまとめています

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DSMC-Neutrals とは？機能・特徴・提供形態

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DSMC-Neutrals は、株式会社ウェーブフロントが提供する3次元希薄気体解析ソフトウェアです。モンテカルロ直接法（Direct Simulation Monte Carlo Method、DSMC法）を用い、非構造格子によって複雑な形状のシミュレーションを可能にします。

得意とするのは、クヌーセン数が高く非平衡性が強い原子分子流れのシミュレーションです。真空チャンバー内の希薄なガス流れはもちろん、化学反応の計算にも対応しており、化学蒸着（CVD）など半導体製造における薄膜生成のシミュレーションにも適しています。化学種の吸着・脱離（蒸発）を扱えるため、真空蒸着や化学蒸着の装置への適用実績が数多くあります。

オプションモデルとして、微粒子の熱泳動、移動する壁表面での散乱、多孔質内の透過といった計算にも対応します。

解析事例は幅広く公開されています。有機EL（OLED）膜の真空蒸着では、成膜速度分布、有機材料の温度依存性、キャリアガスの影響などを評価でき、中真空領域（ガス圧3Pa）でShteinらの実験結果を再現していることが示されています。このほか、真空排気・コンダクタンス評価、大気圏再突入（極超音速希薄流）、分子線エピタキシー（MBE）における濃度分布・成膜分布の均一性・蒸発セル形状の最適化、圧力分布や密度分布に基づくノズル形状・噴射量の最適化、酸素ラジカルによるアッシングにおけるラジカル分布と表面入射量の均一性、アークイオンプレーティング（AIP）における圧力分布・表面到達量・コンタミネーションの抑制・重力の影響、真空ポンプの固定翼・回転翼形状の影響評価、温度差のある物体間で生じる対流と気体を介する熱伝達・表面熱流束、流入ガスによるダストの舞い上がりと拡散などが挙げられています。

シャワーヘッド付きの基板加熱型CVD反応器や、異なる形状の配管から構成された排気システムといった装置形状にも対応します。無料セミナーも実施されています。

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製品情報

公式サイトの確認日：2026年9月16日

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CAEとは

CAEは、設計した形状に力や熱、流れを与えたときの挙動を、試作する前にコンピュータ上で確かめるための解析ソフトです。構造、熱、流体、振動など対象となる現象ごとに手法が分かれます。比較のときは、解析したい現象への対応、CADデータの取り込みとメッシュ作成、計算に必要な資源と時間、結果の妥当性を判断できる支援、そしてライセンス形態を確認してください。

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